優れたリニアリティ、分解能、応答性
±0.1%のリニアリティ、数nmの分解能、最大30nsecの応答性を持つPSDセンサー(ポジション センシング ディテクター)です。競合他社が追随しえない性能を持ちます。UVからNIRまで(波長範囲190‐1100nm)の光源に対応可能です。特に精密計測分野において多数使用されております。代表例として、非接触距離、振動計測、スペクトラムアナライザー、ロボットアーム制御用3次元位置計測、車両衝突解析、半導体製造装置アライメント、3次元形状検査装置、回転軸偏芯測定などに使われています。
製品情報
製品分類 | その他入力装置 | ||
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カタログ | 有 | ||
カタログ名 | SiTek ポジションセンシングディテクター(PSD) | ||
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