半導体内部観察顕微鏡 SWIR-5200
1.3メガSWIRカメラ搭載
半導体内部観察顕微鏡
Model.SWIR-5200
赤外光の透過・反射特性を利用して、シリコンウェハやチップ、MEMS、CSPなど
半導体デバイス内部を観察できる顕微鏡です
チップ内部のメタル配線、ダイボンディングなどの観察に適しています
・1ピクセル5μm、1.3MPのSONY製IMX990を搭載したSWIRカメラを搭載し、近赤外画像でありながら、
これまでにない高解像画像の取得を可能にしました
・SWIRカメラで感度の高い近赤外1100-1700nm域専用に独自設計した結像鏡筒と
PEIR対物レンズシリーズにより、厚ウェハ、高濃度ウェハでも高コントラストな画像が取得できます
・高パワー近赤外ハロゲン光源をセットアップ、対物レンズ100x使用時も明るい画像が得られます
・8インチウェハー搭載ステージを備え、除振台、ウェハーローダーなどのオプションもご提案可能です
製品情報
| 製品分類 | レンズ／フィルター | ||
|---|---|---|---|
| カタログ | 有 | ||
| カタログ名 | 半導体内部観察顕微鏡 SWIR-5200 | ||
| カタログファイル | PDFをダウンロード | ||