卓上で簡単に膜厚測定できる、光学干渉式リアルタイム膜厚モニター。10nm~50μm膜厚測定可能。分光器なので他の各種計測も可能
様々な薄膜の厚みを非接触で リアルタイムに計測可能な膜厚モニター 【特徴】 ○1nmの分解能で10nm~50μmまでの膜厚を測定できます ○測定サンプルより反射される白色光の干渉パターンを観測し、薄膜材料の物性値を用いることで光学膜厚へと変換されます。 単相膜の場合、材料のn値及びk値が予め分かっていれば膜厚を算出できます。 ○専用ソフトウェアには、一般的によく使用されるマテリアルやコーティング材料のn値とk値がデーターベース化されており、測定対象物に応じて選択する事が可能です。
製品情報
製品分類 | 計測・解析用機器 | ||
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カタログ | 有 | ||
カタログ名 | AvaThinfilm膜厚測定 | ||
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